應用簡介

L18系列線性編碼器核心的應用是在半導體行業-離子注入機上，是離子注入機實現納米級定位、均勻注入與高產能的核心反饋部件，主要用于多軸運動閉環控制、束線與終端站精密調節，以及晶圓搬運與對準系統，直接決定注入劑量 / 深度的一致性與良率。

核心應用位置與功能

技術類型與環境適配

光學式直線編碼器（主流）

原理：光柵尺 + 光電掃描頭，無接觸測量，抗干擾強

典型型號：PRECIZIKA L18系列

適用場景：掃描臺、束線調節等核心高精度軸

環境要求：潔凈室（Class 1–10），密封設計防顆粒與真空環境影響

磁性 / 感應式編碼器（輔助）

原理：磁柵 / 感應標尺 + 磁頭，抗污染能力強

適用場景：晶圓搬運機械臂、預對準臺等對潔凈度要求高但精度稍低的軸

環境優勢：IP67 防護，耐油、耐塵，維護成本低

工作流程與閉環控制

注入準備：晶圓由機械臂搬運至預對準臺，編碼器反饋位置，完成中心與缺口對準后，傳送至真空掃描臺

束線調節：根據工藝參數（能量、劑量、離子種類），編碼器控制束線元件位置，聚焦離子束至目標束斑尺寸

高速掃描注入：掃描臺在 X/Y 軸以 200+ mm/s 速度掃描，編碼器實時反饋位置與速度，與束流監測器數據聯動，通過運動控制器調節掃描速度，補償束流波動，實現劑量均勻注入

完成與卸載：注入結束后，掃描臺復位，機械臂將晶圓移出，編碼器確保整個過程無碰撞、高精度傳輸